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Edwards NEXT 2002000 VER.160W



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Edwards NEXT 2002000 VER.160W三入口能同时抽取三个腔体的真空,分别抽速可达到215 L/s / 28 L/s,对应的控制器为Edwards EXDC160。



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XDS 泵的设计极具创新性,采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。



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立式涡轮分子泵的优点是:真空系统的结构简单,在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构;其次是泵内只有一组涡轮叶片,因而价格较低廉。



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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。